تلميع السطح هو خطوة حاسمة في تصنيع أشباه الموصلات ، والتي تؤثر بشكل مباشر على نوعية وأداء أجزاء . في عملية تلميع السطح ، ينبغي إيلاء الاهتمام إلى الجوانب التالية : 1 ، وتلميع الوقت وعمق السيطرة : الإفراط في تلميع قد تضر أداء أجزاء ، لذلك نحن بحاجة إلى رقابة صارمة على الوقت و عمق تلميع ، لضمان درجة معتدلة من تلميع ، ليس فقط لتلبية متطلبات سطح أملس ، ولكن أيضا لا ضرر في الهيكل الداخلي من أجزاء . اختيار نوعية تلميع الحل : اختيار نوعية تلميع الحل يؤثر بشكل مباشر على تأثير تلميع . من أجل تجنب التلوث أو الضرر من الشوائب على سطح الجزء ، من الضروري اختيار تلميع السائل الذي يناسب خصائص مواد أشباه الموصلات . 3 ، والتحكم في درجة الحرارة والضغط : عملية تلميع تحتاج إلى الحفاظ على درجة حرارة ثابتة وضغط لضمان استقرار جودة تلميع . ارتفاع أو انخفاض درجة الحرارة يمكن أن تؤثر على تأثير تلميع ، في حين أن تفاوت الضغط يمكن أن يؤدي إلى خدش أو تفاوت في سطح الجزء . 4 ، حماية كهرباء : مواد أشباه الموصلات حساسة للكهرباء ، لذلك في عملية تلميع أجزاء تحتاج إلى حماية الكهرباء الساكنة ، ومنع الضرر الناجم عن الكهرباء الساكنة على أجزاء . وهذا يشمل استخدام المعدات والأدوات الاستاتيكيه ، فضلا عن الحفاظ على الرطوبة ودرجة الحرارة في بيئة العمل المناسبة . 5 ، والتنظيف والتفتيش : بعد تلميع أجزاء تحتاج إلى تنظيف شامل والتفتيش لضمان أن أجزاء من سطح أي بقايا تلميع السوائل والملوثات . يجب استخدام المنظفات المناسبة وطرق التنظيف لتجنب التلوث الثانوي على أجزاء . وفي الوقت نفسه ، تحتاج أيضا إلى استخدام المجهر وغيرها من الأدوات على سطح أجزاء من التفتيش الدقيق لضمان عدم خدش ، دنت ، وغيرها من العيوب .