Микропайҙар процесы — бик төҙәтеү һәм бик оҫталыҡта эш итеү ысулы. Был процесы, ғәҙәттә, бик тиҙлекле арбаҡ, бик ҙурағыслы телецентрик линсек камера һәм башҡалар кеүек бик төҙәтеү ысулдарын ҡулланырға тейеш. Был процесы медицина, авиация, оптика, автомобил, полупроводниктар, университеттар һәм башҡа өлкәләрҙә киң рәүештә ҡулланыла. Микропайҙар процесы өсөн төп ысулдар үҙ эсенә бик тиҙлекле арбаҡ, бик ҙурағыслы телецентрик линсек камера һәм lineар motor. бик тиҙлекле арбаҡтың төҙәтеүе процесының һөҙөмтәһенә бик ҙур йоғонто яһай. Зур тиҙлек 60 000rpm - гә кадәр барып сыға ала, ә төҙәтеүе 1 μm. Зурағыслы телецентрик линсек камера ҡорал центры һәм камера центрының хатаһын кәләшеү функцияһын йөрөтә. Шул уҡ ваҡытта арбаганың ҙурлығын онлайн һүрәтләр өсөн һәм микро-нано обработкаһының маржын билдәләр өсөн ҡулланып була. Микро-пай процесоры өсөн software шулай уҡ бик мөһим. Шуның өсөн CNC функция кәрәк, որը төрлө формаларҙың күрһәтмәләрен автоматик рәүештә өлеш процесоры ихтыяждарын үтәй ала. Өҫтәүенә, software шулай уҡ урынлы хәрәкәт траектория контроле функцияһын, төрлө формаларҙы edit итергә һәм өлеш процесоры ихтыяждарын автоматик рәүештә үтәй ала.