​⒈洁净度：半导体零件加工需要在无尘车间进行，其洁净度等级要求极高。车间内的尘埃粒子数量必须严格控制在一定范围内，以防止尘埃对半导体零件造成污染和损坏。不同洁净度等级适用于不同的生产环节，如实验室、研发机构、超净生产区域等。
​⒉温湿度：半导体零件加工对环境的温度和湿度也有精确的要求。通常，温度应控制在一定范围内，而湿度则应避免过高或过低。过高的湿度可能导致晶体管表面污染，影响效率；而过低的湿度则可能引发芯片表面静电，导致电路损坏。因此，确保适宜的温湿度环境对于保证半导体零件的质量和性能至关重要。

⒊气压与气体清洁度：在半导体零件加工过程中，需要使用各种气体，如氮气、氧气、氢气等。这些气体的气压需要精确控制，以确保加工过程的稳定性和零件的质量。同时，气体的清洁度也是关键，以避免气体中的杂质对半导体零件造成不良影响。

⒋静电控制：半导体零件加工环境对静电要求极其严格。静电可能导致CMOS集成损坏，因此车间内必须采取有效的静电防护措施，如使用防静电材料、定期清洁设备等。

⒌其他参数：除了上述要求外，半导体零件加工环境还需控制其他参数，如照度、洁净室截面风速等，以确保加工过程的顺利进行和零件的质量稳定。