​微型零件加工是一种高精度、高效率的加工方式，通常需要使用高精度设备，如高速主轴、高倍率远心镜头相机等。这种加工方式广泛应用于医疗、航空、光学、汽车、半导体、高校等领域。
​微型零件加工的核心设备包括高速主轴、高倍率远心镜头相机和直线电机。高速主轴的精度对加工结果有很大影响，最高转速可达到60,000rpm，精度≤1μm。高倍率远心镜头相机具有标定刀具中心和相机中心误差的功能，同时可以用于在线检测工件尺寸确定余量后进行微纳加工。直线电机具有高精度和高响应的特点，能够实现微量磨削加工。

微型零件加工的软件也很重要，需要具备CNC功能，能编辑不同形状的指令，自动完成零件加工需求。此外，软件还应具备自定义运动轨迹控制功能，编辑不同形状，自动完成零件加工需求。

总之，微型零件加工需要使用高精度设备和技术，以实现高精度、高效率的加工效果。