Zpracování mikrosoučástek je vysoce přesná a vysoce účinná metoda zpracování, která obvykle vyžaduje použití vysoce přesného zařízení, jako je vysokorychlostní vřeteno, telecentrická kamera s vysokým zvětšením atd. Tato metoda zpracování je široce používána v lékařství, letectví, optice, automobilech, polovodičích, univerzitách a dalších oborech. Jádro zařízení zpracování mikrosoučástek zahrnuje vysokorychlostní vřeteno, kameru s telecentrickým objektivem s vysokým zvětšením a lineární motor. Přesnost vysokorychlostního vřetena má velký vliv na výsledky zpracování. Maximální rychlost může dosáhnout 60 000 ot / min a přesnost je 1 μm. Objektiv telecentrické kamery s vysokým zvětšením má funkci kalibrace středu nástroje a chyby středu kamery. Současně může být použit k detekci velikosti obrobku online a stanovení rozpětí pro mikroobrábění. Lineární motor má vlastnosti vysoké přesnosti a vysoké odezvy, které mohou realizovat mikro-broušení Software pro zpracování mikro-dílů je také velmi důležitý. Musí mít funkci CNC, která může upravovat pokyny různých tvarů, aby automaticky dokončila potřeby zpracování dílů. Kromě toho by software měl mít také vlastní funkci řízení dráhy pohybu, upravovat různé tvary a automaticky dokončovat potřeby zpracování dílů. Stručně řečeno, zpracování mikro-dílů vyžaduje použití vysoce přesného zařízení a technologie pro dosažení vysoce přesných a vysoce účinných výsledků obrábění.