Overfladebehandling af halvlederdele er et afgørende skridt, der direkte påvirker delenes kvalitet og ydeevne. Ved udførelse af overfladebehandling bør der lægges vægt på følgende aspekter: 1. poleringstid og dybdekontrol: Overdreven polering kan skade delens ydeevne, så det er nødvendigt at strengt kontrollere poleringstid og dybde for at sikre, at poleringsgraden er moderat og opnå kravet om glat overflade uden at beskadige delens indre struktur. Valg og kvalitet af poleringsløsning: Valget og kvaliteten af poleringsløsningen påvirker direkte poleringseffekten. Det er nødvendigt at vælge en poleringsopløsning, der er egnet til egenskaberne ved halvledermaterialer, og strengt kontrollere formel og renhed af poleringsopløsningen for at undgå urenheder fra at forurene eller beskadige overfladen af delene. 3. temperatur og tryk kontrol: Det er nødvendigt at opretholde en konstant temperatur og tryk under poleringsprocessen for at sikre stabiliteten af poleringskvalitet. Overdreven eller utilstrækkelig temperatur kan påvirke poleringseffekten, mens ujævnt tryk kan forårsage ridser eller ujævnheder på delenes overflade. Elektrostatisk beskyttelse: Halvledermaterialer er følsomme over for statisk elektricitet, så det er nødvendigt at beskytte delene mod statisk elektricitet under poleringsprocessen for at forhindre skader forårsaget af statisk elektricitet. Dette omfatter anvendelse af antistatisk udstyr og værktøj samt opretholdelse af passende fugtighed og temperatur i arbejdsmiljøet. Rengøring og inspektion: Efter polering skal delene rengøres grundigt og inspiceres for at sikre, at der ikke er resterende poleringsopløsning og forurenende stoffer på overfladen af delene. Der bør anvendes passende rengøringsmidler og metoder under rengøringen for at undgå sekundær kontaminering af delene. Samtidig er det nødvendigt omhyggeligt at inspicere overfladen af delene ved hjælp af værktøjer som mikroskoper for at sikre, at der ikke er fejl såsom ridser eller gruber.