Pooljuhtosade töötlemine pinna poleerimine on otsustav samm, mis mõjutab otseselt osade kvaliteeti ja jõudlust. Pindade poleerimisel tuleb tähelepanu pöörata järgmistele aspektidele: 1. poleerimisaja ja sügavuse kontroll: Liigne poleerimine võib kahjustada osa jõudlust, seega on vaja rangelt kontrollida poleerimisaega ja sügavust, et tagada poleerimisaste mõõdukas, saavutades sileda pinna nõude ilma osa sisemist struktuuri kahjustamata. Poleerilahenduse valik ja kvaliteet: Poleerilahenduse valik ja kvaliteet mõjutavad otseselt poleerimisefekti. On vaja valida pooljuhtmaterjalide omadustele sobiv poleerimislahus ning rangelt kontrollida poleerimislahuse valemit ja puhtust, et vältida lisandite saastumist või kahjustamist osade pinnale. 3. temperatuuri ja rõhu reguleerimine: poleerimisprotsessi ajal on vaja säilitada püsiv temperatuur ja rõhk, et tagada poleerimiskvaliteedi stabiilsus. Poleerimisefekti võib mõjutada liigne või ebapiisav temperatuur, samas kui ebaühtlane rõhk võib põhjustada kriimustusi või ebaühtlust osade pinnal. 4. elektrostaatiline kaitse: pooljuhtmaterjalid on staatilise elektri suhtes tundlikud, nii et on vaja kaitsta osi staatilise elektri eest poleerimisprotsessi ajal, et vältida staatilise elektri tekitatud kahjustusi. See hõlmab antistaatiliste seadmete ja tööriistade kasutamist ning töökeskkonnas sobiva niiskuse ja temperatuuri säilitamist. 5. puhastamine ja kontroll: pärast poleerimist tuleb osad põhjalikult puhastada ja kontrollida, et tagada, et osade pinnal poleerimislahuse jääke ja saasteaineid ei oleks. Puhastamisel tuleb kasutada asjakohaseid puhastusvahendeid ja -meetodeid, et vältida osade sekundaarset saastumist. Samal ajal on vaja hoolikalt kontrollida osade pinda, kasutades selliseid tööriistu nagu mikroskoobid, tagamaks, et puuduvad defektid nagu kriimustused või augud.