سطح پالایش بخش‌های پرداخت‌کننده‌ای از بخش‌های نیمه‌کنترل یک قدم مهم است که مستقیماً به کیفیت و عملکرد بخش‌ها تأثیر می‌دهد. هنگامی که پالایش سطح انجام می‌دهد، توجه باید به نقطه‌های بعدی پرداخته شود: ۱. زمان پلونی و کنترل عمیق: پالایش زیادی ممکن است عملکرد قسمت را آسیب دهد، بنابراین لازم است که زمان پالایش و عمیق را به شدت کنترل کنترل کنید تا مطمئن شود که درجه پالایش متوسط است، به رسیدن نیازی سطح پالایش پا انتخاب و کیفیت راه حل پلیزی: انتخاب و کیفیت راه حل پلیزی مستقیماً تأثیر اثر پلیزی است. لازمه که راه حل پلیزی را انتخاب کنیم که برای ویژگی‌های ماده‌های نیمه‌کنترل مناسب است، و فرمول و پاکیزه راه حل پلیزی را به شدت کنترل کنترل کنیم تا از زشت‌ها از آلودگی یا خسارت سطح بخش‌ها جلوگیری کند. 3. کنترل دما و فشار: برای تضمین ثابت کیفیت پلیسی نیاز دارد که دما و فشار ثابت باشد. دما بسیار زیادی یا ناکافی ممکن است تاثیر پلیزی را تأثیر دهد، در حالی که فشار بی‌نظیر ممکن است باعث خرابی یا بی‌نظیری روی سطح قطعات باشد. 4. محافظت الکتروستاتی: ماده‌های سیمیکوندکتور به الکترونیک محافظت کننده‌اند، بنابراین لازم است که بخش‌ها را از الکترونیک استیکی در طول فرایند پلیسی محافظت کند تا از آسیب‌های باعث شدن الکتریکی استیکی جلوگیری کند. این شامل استفاده از دستگاه و ابزار مخالف استفاده می‌شود، و حفظ خشونت و دمای مناسب در محیط کار. 5. پاک کردن و بازرسی: بعد از پاک کردن قطعات باید کاملا پاک و تمیز شوند تا مطمئن شوند که هیچ راه حل پاک کردن و آلودگی باقی مانده روی سطح قطعات وجود ندارد. مواد پاک کردن و روش‌های مناسب باید در حالی پاک کردن برای جلوگیری از آلودگی دوم قطعات استفاده شود. در همین زمان، لازم است که سطح قطعات را با استفاده از ابزارهای مانند میکروسکوپ با دقت بررسی کنید تا مطمئن شوید که شکست‌هایی مانند خراش یا خراش وجود ندارد.