دقت ماشینکاری دقیق در شنژن در مقایسه با ماشینکاری دقیق سنتی بیش از یک مرتبه بهبود یافته است.

پردازش قطعات دقیق شنژن دارای الزامات ویژه ای برای مواد قطعه کار ، تجهیزات پردازش ، ابزار ، اندازه گیری و شرایط محیطی است و نیاز به کاربرد جامع ماشین آلات دقیق ، اندازه گیری دقیق ، سیستم های سروو دقیق ، کنترل کامپیوتری و سایر فناوری های پیشرفته دارد. دقت ماشینکاری فوق العاده دقیق بیش از یک مرتبه بزرگتر از ماشینکاری دقیق سنتی است. علاوه بر نیاز به اتخاذ روش های پردازش جدید یا مکانیسم های پردازش جدید ، الزامات ویژه ای برای مواد قطعه کار ، تجهیزات پردازش ، ابزار ، اندازه گیری و شرایط محیطی وجود دارد.

آیا می دانید چگونه قطعات دقیق را در شنژن پردازش کنید ؟ بیا یک نگاهی بیندازیم.

هنگامی که دقت ماشینکاری ماشینکاری دقیق در شنژن بر حسب نانومتر یا حتی در واحدهای اتمی باشد (فاصله شبکه اتمی 0.1 تا 0.2 نانومتر است) ، روش برش دیگر قابل تطبیق نیست و لازم است از روش های ماشینکاری خاصی استفاده شود. استفاده از انرژی شیمیایی ، انرژی الکتروشیمیایی ، انرژی حرارتی یا انرژی الکتریکی و غیره برای اینکه این انرژی ها از انرژی اتصال بین اتم ها فراتر رود و در نتیجه چسبندگی ، پیوند یا تغییر شکل شبکه برخی از اتم ها بر روی سطح قطعه کار حذف شود. به منظور دستیابی به هدف ماشینکاری فوق العاده دقیق.

به عنوان مثال ، ساخت صفحه VLSI به این صورت است که از یک پرتو الکترونی برای افشای مقاومت نوری روی ماسک استفاده می شود (به فوتولیتوگرافی مراجعه کنید) ، به طوری که اتم های مقاومت نوری مستقیماً تحت تأثیر الکترون ها پلیمریزه (یا تجزیه می شوند) و سپس پلیمریزه می شوند. یا قطعات پلیمریزه نشده توسط سازنده برای ساخت ماسک حل می شوند. ساخت صفحه نوردهی پرتو الکترونی مستلزم استفاده از تجهیزات ماشینکاری فوق العاده دقیق با دقت موقعیت یابی میز تا 0.02 میکرون است.

پرداخت شیمیایی مکانیکی ، کندوپاش یون و کاشت یون ، قرار گرفتن در معرض پرتو الکترونی ، پردازش پرتو لیزر ، تبخیر فلز و اپیتاکسی پرتو مولکولی متعلق به این نوع پردازش است. این روش ها با کنترل بسیار دقیق بر مقدار مواد حذف شده یا اضافه شده به لایه سطحی مشخص می شوند. با این حال ، برای دستیابی به دقت ماشینکاری فوق العاده دقیق ، همچنان به تجهیزات ماشینکاری دقیق و سیستم های کنترل دقیق و استفاده از ماسک های فوق دقیق به عنوان واسطه بستگی دارد.

ماشینکاری فوق العاده دقیق عمدتاً شامل تراشکاری فوق العاده دقیق ، سنگ زنی آینه و سنگ زنی است. در ماشین های تراش فوق دقیق ، از ابزارهای الماس تک کریستالی که به خوبی آسیاب شده اند ، برای ریز تراشکاری استفاده می شود که ضخامت برش آن تنها حدود 1.5 میکرون است. آنها اغلب برای پردازش قطعات سطحی با دقت بالا و بسیار صاف مانند آینه های کروی ، کروی و مسطح از مواد فلزی غیر آهنی استفاده می شوند.