(1) Baineann próiseas ciorcal comhtháite amháin úsáid as sraith iomlán teicneolaíochtaí próisis phleanála amhail scilliú, pólaithe, ocsaídiú, difríocht, fotólitheografia, fás éipiteacsaigh agus éapáiriú chun trasistoirí, diodaid, cosanta, cumasóirí agus comhpháirteanna eile a mhonarú ag an am céanna ar shílicín bheag amháin, agus baineann sé úsáid as teicneolaíochtaí aonair aonair chun gach comhpháirt a aisteach as a chéile i dtéarmaí feidhmíochta Ansin, meabhraítear sraith aluimíniam ar dromchla an tsíoilíne agus éirítear í i bpatrún idirnasctha ag baint úsáid as teicneolaíocht photolithografach, lena gceadaítear do na comhpháirteanna idirnasctha i gcúrsaí iomlán de réir mar is gá, agus ciorcadh comhtháite leath-thionscnaitheoir a tháirgeadh.

Ciorcach comhtháite aonchiip

Le forbairt ciorcal chomhtháite amháin-chiopa ó chiopa beag go meánscála go ciorcail chomhtháite ar mhórscála agus ar mhórscála, forbraíodh teicneolaíocht phleanála freisin. Mar shampla, cuirtear próiseas dopála ionimplantaithe in ionad dopála difríochta; Tá litigrafaíocht choinbhinsiúnta UV forbartha i dtaca le tacar iomlán teicneolaíochtaí micreamhonaraithe, amhail plátaí nochta le beam leictreonach a dhéanamh, leictreoireacht plasma, meiliú imoibritheach, srl.; Glacann fás éipiticiúil freisin le teicneolaíocht éipiticiúil beam mholúcháin is arda folóim; Teicneolaíocht taiscthe caimiceach vapor a úsáid chun sílicín póilchrostailíneach, díocsaíd sílicín agus scannáin ghluaiseachta a mhonarú; I dteannta leas a bhaint as aluimínim nó ór, glacann na línte dorcha idirnasctha próisis freisin amhail taisceadh vapor ceimiceach póilchrostailíneach dorcha síliamh a dhóipítear go mór agus síliamh dorcha miotail lómhar síliamh, chomh maith le struchtúir idirnasctha ilsháracha.

Is ciorcal comhtháite amháin-shiopa ciorcal comhtháite é a chuireann feidhmeanna ciorcal aonaid chun feidhme go neamhspleách gan an gá le comhpháirteanna seachtracha. Chun lánpháirtiú le cip amháin a bhaint amach, is gá aghaidh a thabhairt ar lánpháirtiú na gcoinníollaithe, na gcoinníollaitheoirí agus na bhfeisteanna cumhachta is deacair a mhianaithiú, mar aon leis an tsaincheist maidir le gach comhpháirt a aisteach as a chéile i dtéarmaí feidhmíochta an chiorcóid.

(2) Tá an trasistor, an diod, an choinneálaí, an tiontóir, an tiontóir agus comhpháirteanna eile den chiorcóid iomlán, chomh maith lena n-idirnascanna, déanta go léir de mhiotal, leathchuinneálaí, ocsaíd mhiotail, céimeanna measctha miotail éagsúla, cóimheanna nó scannáin dhéileictriúla insulaitheacha a bhfuil tiús níos lú ná 1 micrón acu, agus a fhorchuirtear trí phróiseas lamhála vácuum, próiseas sp Is é an ciorcal comhtháite a dhéantar leis an bpróiseas seo ciorcal comhtháite scannáin. Príomhphróiseas:

Name

\ 9312Deréir an léaráid chiorcóid, roinn sé ar dtús i roinnt léaráid chomhpháirteanna feidhmiúla, ansin bain úsáid as an modh leagtha amach phleanála chun iad a thiontú i léaráid leagtha amach chiorcóid phleanála ar an bhfostrát, agus ansin bain úsáid as an modh pláta grianghraif a dhéanamh chun teimpléid líonra scannáin tiubh a tháirgeadh

Is iad na príomhphróisis chun gréasáin fhilleog tiubh a mhonarú ar shubstrátaí priontáil, sintéireacht agus oiriúnú frithsheasmhachta. Is é an modh priontála a úsáidtear go coitianta priontáil an scáileáin.

Le linn an phróisis shíntéireachta, déanann an ceangailteoir orgánach neamhchomhdhlúthú go hiomlán agus meabhraíonn sé, agus meabhraíonn sé púdar soladach, meabhraíonn sé agus meabhraíonn sé chun scannán tiubh agus tiubh láidir a dhéanamh. Tá cáilíocht agus feidhmíocht na scannán tiubh i ndlúth-bhaint leis an bpróiseas sintéireachta agus leis an atmaisféar comhshaoil. Braitheann an t-am sintéireachta agus an t-ardteocht ar an mbonn agus ar an struchtúr membrana a úsáidtear. Chun craiceáil na scannáin tiubh a chosc, ba cheart an ráta fuaraithe a rialú freisin. Is é an fhuairn sintéireachta a úsáidtear go coitianta an fhuairn túinéil.

Chun feidhmiú is fearr a bhaint amach ar ghréasáin fhuinnimh tiubh, ní mór na coigeartaithe a choigeartú tar éis dóibh a spreagadh. Áirítear ar na modhanna coigeartaithe coigeartaithe frithsheasmhachta coigeartaithe crainn, léiser agus puls naphta.

3. Úsáidtear teicneolaíocht chiorcóid chomhtháite scannáin tiubh priontáil scáileáin chun cosaint taisce, cótáin dhéileictriúla agus cótáin tiománaithe ar ocsaíd aluimíniam, cerámacha ocsaíd beiriliam, nó substrátaí carbóide síilicóin a thaisceadh. Is éard a bhaineann leis an bpróiseas taisce ná méarchlár fíneáil sreang a úsáid chun patrúin de scannáin éagsúla a chruthú. Déantar an patrún seo trí mhodhanna grianghraif, agus úsáidtear latex chun na folaí méasca a chosc in aon limistéir nach dtaisctear aon chúta. Tar éis glanadh, priontáiltear substrát an aluimíni le cóta seoltach chun línte ceangail inmheánacha a dhéanamh, limistéir shóilteachta teirminéil choinneála, limistéir adhéanta scip, leictreoid bhun an chonsaitheora agus scannáin seoltaí. Tar éis triomaithe, bítear na páirteanna ag teocht idir 750 agus 950 [UNK] chun an adhéant a fhoirmiú, a mheabhadh, an t-ábhar tiománaí a shíneadh, agus ansin próisis phriontála agus dóite a úsáid chun cosanta, cumasóirí, léimhseoirí, aisléirí agus síolta datha a tháirgeadh. Déantar gléasanna gníomhacha a mhonarú trí phróisis amhail soláthar éiteachtach íseal, soláthar athléite, soláthar inbhéirseála inbhéirseála bunphointe íseal melting, nó luach de chineál beam, agus ansin é a fheistiú ar shubstrát dóite. Soláthraítear na luachanna ansin chun ciorcanna scannáin tiubha a fhoirmiú.

ciorcal comhtháite scannáin tiubh

Is 7-40 micrón de ghnáth é tiús na scannáin i gcúrsaí scannáin tiúsa. Tá an próiseas ullmhúcháin seoladh ilsháilte ag baint úsáide as teicneolaíocht scannáin tiubh go coibhneasta, agus tá comhoiriúnacht teicneolaíochta ilsháilte dea, rud a d’fhéadfadh dlús comhthionraithe an lánpháirtithe tánaisteach a fheabhsú go mór. Ina theannta sin, is teicneolaíochtaí nua próiseas snáithe tiubh iad próiseas plásama a spreagadh, sláinte a spreagadh, priontáil agus gléasáin. Mar shampla le ciorcanna comhtháite scannáin thin, úsáideann ciorcanna comhtháite scannáin thick próisis híbrídeacha freisin toisc nach bhfuil trasistoirí scannáin thick praiticiúla fós.

4. Sainroghanna próisis: Tá a saintréithe féin ag gach ceann de na cistí aonair agus ag gach ceann de na cistí aonair agus ag gach ceann de na cistí aonair agus ag gach ceann de na cistí sin. Is mór cainníocht na gcurrúis ghinearálta agus na gcurrúis chaighdeánacha agus is féidir ciorcanna comhtháite amháin a úsáid. I gcás ciorcanna íseal éilimh nó ciorcanna neamhchaighdeánacha, úsáidtear próiseas híbrid i gcoitinne, lena n-áirítear ciorcanna comhtháite caighdeánaithe aonchiip agus ciorcanna comhtháite híbride le comhpháirteanna gníomhacha agus pasiúla a úsáid. Déanann cineál tiubh agus ciorcanna comhtháite scannáin thin idirbhriseadh le chéile i bhfeidhmchláir áirithe. Tá an trealamh próiseála a úsáidtear i dteicneolaíocht scannáin tiubh go coibhneasach, tá dearadh an chiorcóid solúbtha, tá timthriall táirgthe gearr agus tá an scaipeadh teasa dea. Dá bhrí sin, úsáidtear é go forleathan i gcúrsaí a bhfuil ardvoltas, ardchumhacht agus ceanglais lú-shrianta toleraithe le haghaidh comhpháirteanna pasiúla. Ina theannta sin, mar gheall ar an éascacht atá ann sruthú ilsháilte a bhaint amach i bpróiseas monaraithe ciorcanna scala tiubha, is féidir cipeanna ciorcanna comhtháite ar mhórscála a thionscnamh i ciorcanna comhtháite ar mhórscála i bhfeidhmchláir níos casta thar chumas ciorcanna comhtháite aonsháilte a thionscnamh.

5. Úsáid agus réamhchúraimí: (1) Ní cheadaítear do chiorcóid chomhtháite dul thar a luachanna teorann le linn an úsáide. Nuair a athraíonn an voltas soláthair cumhachta nach mó ná 10% den luach ainmnithe, ba cheart do na paraiméadair leictreacha na luachanna sonraithe a chomhlíonadh. Nuair a dhíchumasófar agus a dhíchumasófar an soláthar cumhachta a úsáidtear sa chiorcóid, ní mór go mbeidh aon naphta láithreach á ghiniúint, mura rud é go gcuirfidh sé an chiorcóid síos.

(2) Tá teocht oibriúcháin na gcúrsaí comhtháite i gcoitinne idir -30~85 [UNK], agus ba cheart iad a shuiteáil chomh fada agus is féidir ó fhoinsí teasa.

(3) Nuair a dhéantar ciorcanna comhtháite a shóilléiriú de láimh, ní cheart iarann a shóilléiriú a bhfuil cumhacht níos mó ná 45W a úsáid agus ní cheart go rachadh an t-am leanúnach a shóilléiriú thar 10 soicind.

(4) I gcás ciorcanna comhtháite MOS, is gá miondealú leictreostáitiúil gheata a chosc.

Is éard atá thuas ná cur isteach i dteicneolaíocht ciorcal comhtháite. I láthair na huaire, tá ciorcanna comhtháite aonchip ag forbairt ní amháin i dtreo comhtháthú níos airde, ach freisin i dtreo ciorcanna ardchumhachta, líneacha, ardthréimhse agus ciorcanna analógacha. Mar sin féin, i dtéarmaí ciorcanna comhtháite micreabhanna agus ciorcanna comhtháite ardchumhachta, tá buntáistí fós ag ciorcanna comhtháite hibrídeacha scannáin tanaí agus ciorcanna comhtháite scannáin tiubha. I roghnúchán sonrach, cuirtear cineálacha éagsúla ciorcal chomhtháite amháin le próisis chomhtháite scannáin tiubh agus scannáin thin go minic, go háirithe go bhfuil substrátaí gréasáin choinneála beachta agus gréasáin chonneála choinneála choinneála ceangailte le substrátaí a thionsclaítear ó choinneálaithe scannáin tiubh agus ó bhanda tiománaithe chun ciorcal cast Nuair is gá, is féidir comhpháirteanna ultra-bheaga aonair a cheangal fiú chun páirteanna nó an mheaisín iomlán a dhéanamh.