A félvezető alkatrészek feldolgozásának felületi polírozása kulcsfontosságú lépés, amely közvetlenül befolyásolja az alkatrészek minőségét és teljesítményét. A felületi polírozás végrehajtásakor figyelmet kell fordítani a következő szempontokra: 1. Polírozási idő és mélység szabályozás: A túlzott polírozás károsíthatja az alkatrész teljesítményét, ezért szigorúan ellenőrizni kell a polírozási időt és mélységet annak biztosítása érdekében, hogy a polírozási fok mérsékelt legyen, elérve a sima felület követelményét anélkül, hogy károsítaná az alkatrész belső szerkezetét. A polírozási oldat kiválasztása és minősége: A polírozási oldat kiválasztása és minősége közvetlenül befolyásolja a polírozási hatást. Meg kell választani a félvezető anyagok jellemzőinek megfelelő polírozási oldatot, és szigorúan ellenőrizni kell a polírozási oldat képletét és tisztaságát annak érdekében, hogy elkerüljék a szennyeződéseket az alkatrészek felületének szennyeződéséből vagy károsításából. 3. Hőmérséklet- és nyomásszabályozás: A polírozási folyamat során állandó hőmérsékletet és nyomást kell tartani a polírozási minőség stabilitásának biztosítása érdekében. A túlzott vagy elégtelen hőmérséklet befolyásolhatja a polírozó hatást, míg az egyenetlen nyomás karcolásokat vagy egyenetlenséget okozhat az alkatrészek felületén. Elektrosztatikus védelem: A félvezető anyagok érzékenyek a statikus elektromosságra, ezért meg kell védeni az alkatrészeket a statikus elektromosságtól a polírozási folyamat során, hogy megakadályozzák a statikus elektromosság által okozott károkat. Ez magában foglalja az antisztatikus berendezések és szerszámok használatát, valamint a megfelelő páratartalom és hőmérséklet fenntartását a munkakörnyezetben. 5. Tisztítás és ellenőrzés: A polírozás után az alkatrészeket alaposan meg kell tisztítani és ellenőrizni annak érdekében, hogy ne legyen maradék polírozó oldat és szennyeződések az alkatrészek felületén. A tisztítás során megfelelő tisztítószereket és módszereket kell alkalmazni az alkatrészek másodlagos szennyeződésének elkerülése érdekében. Ugyanakkor gondosan ellenőrizni kell az alkatrészek felületét olyan eszközökkel, mint például mikroszkópok segítségével, hogy ne legyenek hibák, mint például karcolások vagy gödörök.