A mikroalkatrészek feldolgozása nagy pontosságú és nagy hatékonyságú feldolgozási módszer, amely általában nagy pontosságú berendezések használatát igényli, mint például a nagysebességű orsó, nagy nagyítású telecentrikus lencsés kamera stb. Ezt a feldolgozási módszert széles körben alkalmazzák az orvosi, repülési, optikai, autói, félvezetők, egyetemek és más területeken. A mikroalkatrészek feldolgozásának alapvető berendezése magában foglalja a nagysebességű orsó, nagy nagyítású telecentrikus lencsés kamera és lineáris motor. A nagysebességű orsó pontossága nagy hatással van a feldolgozási eredményekre. A maximális sebesség elérheti a 60 000 fordulatot, a pontosság pedig 1 μm. A nagy nagyítású telecentrikus lencsés kamera a szerszámközpont és a kameraközpont hibájának kalibrálásának funkciója. Ugyanakkor használható a munkadarab méretének online felderítésére és a mikro-nano megmunkálás margójának meghatározására. A lineáris motor a nagy pontosság és a nagy választ jellemzőivel rendelkezik, amely képes megvalósítani a mikro-csiszolás A mikro-alkatrészek feldolgozására szolgáló szoftver is nagyon fontos. CNC funkcióval kell rendelkeznie, amely képes szerkeszteni a különböző alakzatok utasításait, hogy automatikusan teljesítse az alkatrészfeldolgozási igényeket. Ezenkívül a szoftvernek egyedi mozgáspálya-vezérlő funkcióval kell rendelkeznie, különböző alakzatok szerkesztésére, és automatikusan teljesítse az alkatrészfeldolgozási igényeket. Röviden, a mikro-alkatrészek feldolgozása nagy pontosságú berendezések és technológia használatát igényel, hogy nagy pontosságú és nagy hatéko