(1) Sameinuð hringsferlið með einu chipi notar fullkomið sett af tækni á planar ferli svo sem smíða, pólsa, oxun, útbreiðslu, ljósmyndun, vöxt í flogaveiki og dælingu til a ð framleiða samtímis transistor, díód, ónæmi, þynningarlyf og önnur innihaldsefni á litlum kísilkveiki einu kristallaþurrku og notar ákveðin einangrunartækni til að einangra hvort innihaldsefni frá öðru hvað varðar rafvirkni. Síðan er álið lagt dregið upp á yfirborði kísilvefjarinnar og sett í samtengslumynstur með ljósmyndatækni, sem leyfir þáttum a ð tengjast í heilan hring eins og þörf krefur og framleiðir hálfleiðandi samtengd hring með einu chipi.

Einchip sameinuð hringur

Með því að þróa sameinuð hring með einu chipi frá smáum til miðlungsmiklum til stórum og mjög stórum sameinuðum hringum hefur einnig verið þróað planar process tækni. Til dæmis er útbreiðslusdoping skipt yfir með jónsígræðslusdopingarferli; UV hefðbundin litmynd hefur þróast í fullkomna tæknitækni til örframleiðslu, svo sem framleiðslu plata fyrir útsetningu fyrir rafmagnsskammti, plasmagrafun, endurvirkjandi jónmælingu o.s.frv. Vöxtur á flogaveiki tekur einnig tækni fyrir ofstóra sameindargeislun. Notkun efnafræðilegrar lofttækni til að framleiða pólýkristallaða kísilkvoða, kísilkvoða og yfirborðslosunarfilmur; Að auki notkunar ál eða gulls eru þunnu línurnar tengdar einnig ferlum eins og efnafræðilegu loftþunnu fjölkristallaða kísilkvoða, þunnu fjölkristallaða kísilkvoða og dýrmálkísilkvoða, sem og fjöllaga millitengda byggingar.

Einchip sameinuð hring er sameinuð hring sem sjálfstætt framkvæmir einlyfjahringsstarfsemi án þess að þörf sé á ytri hluta. Til þess að ná í samræmi með einu chipi er nauðsynlegt að ræða samsetningu ónæmisglæða, þjálfunarlyfja og raftækja sem erfitt er að minnka, og einnig að einangra hvert innihaldsefni hvort frá öðru hvað varðar framkvæmd hrings.

(2) Transistorinn, díódíóður, ónæmismyndari, innleiðandi efni og önnur hluti alls hrings, ásamt tengslum þeirra, eru allir úr málmi, hálfleiðandi efni, metaloxíði, ýmsum blönduðum fasum, lögum eða einangrandi dielektríkum filmum með þykkt minna en 1 míkrón og eru yfirgefin með vökvadælingarferli, sputteringarferli og rafmagnsferli. Sameinuð hringur sem gerður er af þessum ferli kallast þunn filmuhlutfall. Aðalferli:

Þunn filmuhringur

① Í samræmi við umferðaráætlunina, deilið það fyrst í nokkra myndgreiningar með virkum þáttum, notaðu síðan planar layout aðferðina til að breyta þeim í planar circuit layout diagrams á hvarfefninu og notaðu síðan myndgreiningarlyfið til að framleiða þykkar myndgreiningarlyf til að prenta skjáinn

Helstu ferlurnar til framleiðslu þykkra filmu netja á hvarfefnum eru prentun, samsetning og ónæmisstilling. Venjulega notuð prentaraðferð er skjáprentur.

③ Meðan á söfnunarferlinu stendur breytist lífræna bindingarinn alveg niður og dælir, og fasta duftið brjóst niður, breytist niður og sameinast til a ð mynda þykka og sterka þykka filmu. Gæði og virkni þykkra filma tengjast náið söfnunarferlinu og umhverfisloftinu. Heitingarhraði ætti að vera hægt til að tryggja að líffræðileg efni sé alveg brotthvarf áður en glerið flæðir. Samsetningartími og hámarkshiti eru háðir slímhúð og himnastofnun sem notað er. Til að koma í veg fyrir að þykka filman brjótist skal einnig hafa stjórn á kælingarhraði. Algengt notaður innsigluofninn er gönguofninn.

\9315; Til að ná hámarki á þykkum filmuverkum þarf að stilla ónæmi eftir skot. Algengar aðferðir til að stilla ónæmi eru m.a. sandblástur, leysir og spennu.

3. Þykk filmuhringatekni notar skjáprentun til að setja upp ónæmi, dielektrík og leiðbeiningarflektur á áloxíði, keramiku af berýloxíði eða hvarfefni kísilkarbíðs. Upplýsingarferlið felur í sér notkun fínnar vírmálka til a ð búa til mönstur af ýmsum filmum. Þetta mynstur er gert með ljósmyndavísum aðferðum og latex er notað til að blokka augaholur á öllum svæðum þar sem engin húð er sett upp. Eftir hreinsun er álhvarfefnið prentað með leiðbeinandi húð til að mynda innri tengslulínur, ónæmislokasvæði, aðdráttarsvæði chips, innrennslisrafmagn og leiðbeiningarfilmur. Eftir þurrkun eru hlutirnir bakaðir við hita á bilinu 750 til 950 [UNK] til a ð mynda, dæla gluggann, innsigla leiðsluefnið og nota síðan prents- og skjótaferli til að framleiða ónæmi, innsigli, stökkva, einangra og litainnsigli. Virk tæki eru framleitt með því a ð nota ferli eins og lág sveiflur, afturslagslóun, afturslagslóun með lágum smellupunkti eða geislabljón, og síðan sett á brennt hvarfefni. Fjórnir eru síðan leyst til að mynda þykkar filmuhringar.

þykkur filmuhringur

Filmþykkni þykkra filmuhringa er yfirleitt 7-40 míkrón. Verkefnið til að undirbúa fjöllagslóð með því að nota þykka filmatekni er tiltölulega þægilegt og samrýmanleika fjöllagslóða tækni er góð, sem getur miklu bætt samsetningarþéttni annars samsetningar. Auk þess eru plasma úði, eldúði, prentun og festingarferli allar nýjar tæknir fyrir þykka filmuferli. Svipað og þunnar filmuhringar nota þykkar filmuhringar einnig samsettar ferli vegna þess að þykkar filmuhringar eru enn ekki hagstæðar.

4. Meðferðareiginleikar: Ein chip sameinuð hring og þunn filma og þykk filma sameinuð hring hafa hver sín eiginleika og geta fylgt hvort öðru. Magn almennra hringa og hefðbundna hringa er stór og hægt er að nota einchip samsetta hringa. Þegar um er a ð ræða litla þörf eða óhefðbundin hring er almennt notað blönduð ferli sem felur í sér notkun stöðluðra einchip sameinuðra hringa og blönduðu sameinuðra hringa með virkum og passiva hlutum. Þykkar filmur og þunnar filmur sameinast hvort við annað í ákveðnum aðgerðum. Verkefnisbúnaðið sem notað er í þykkri filmatekni er tiltölulega einfalt, kremið er vefstækt, framleiðsluhringurinn er stuttur og hitastíflun er góð. Því er það breitt notað í kremiðum með háþrýstingi, háþrýstingi og minna streng þol fyrir passiva innihaldsefni. Að auki, vegna auðveldara að ná fjöllögum víðum í framleiðsluferlinu þykkra filmuhringa, er hægt að sameina stórum sameinuðum víðhringum í mjög stórum sameinuðum víðhringum í flóknari forritum en hægt er að sameinuðum víðhringum. Ein eða fjölvirk sameinuðum víðhringum má einnig sameina í fjölvirk hluta eða jafnvel smá vél.

5. Notkun og varúðarráðstafanir: (1) Ekki má fara yfir takmörkunargildi þeirra meðan á notkun stendur. Þegar rafmagnsspann breytist ekki um meira en 10% af nefndu gildi, ættu rafmagnsskammtarnir að fylgja tilgreindum gildum. Þegar rafmagnsferlið sem notað er í hringnum er kveikt og slökkt á því að enginn strax spenntur verði til staðar, annars mun það valda því að hringinn brotist.

(2) Virkshiti samsettra hringa er yfirleitt á bilinu -30~85 [UNK], og það ætti að vera uppsett eins langt og hægt er fjarri hitakerfi.

(3) Þegar sameinuð hring eru lokuð handvirkt ætti ekki a ð not a járn með hærri styrk en 45W og stöðugur lokunartími ætti ekki að vera meiri en 10 sekúndur.

(4) Í tengslum við MOS samsetta hringa er nauðsynlegt að koma í veg fyrir rof á rafstöðugum hliðum.

Það sem hér að ofan er upplýsingar um samþætt krepputækni. Í augnablikinu eru einchip sameinuð hring ekki einungis að þróa í átt að hærri sameiningu, heldur einnig í átt að hávirkum, línulegum, hátíðni hringum og hliðstæðum hringum. Hins vegar hafa þynnar filmur og þykkar filmuhúðaðar samsettar hringar ennþá ávinningar hvað varðar örbylgjur og hávirkar samsettar hringar. Við sértækt val eru ýmsar gerðir af einchip sameinuðum hringjum oft samsettar með þykkum filmum og þunnum filmum sameinuðum ferlum, sérstaklega nákvæmum ónæmisnetum og ónæmisnetum sameinuðum hvarfefnum sem eru sameinuð úr þykkum filmuhálpum og leiðbeiningarböndum til a ð mynda flókna og fullkomna hring. Þegar nauðsynlegt er má tengja einkum mjög litlum hlutum jafnvel til að mynda hluta eða alla vélina.