半導体部品の加工は複雑で精密なプロセスであり、複数の重要なステップと技術に関連している。半導体部品の加工における切削方法は主に以下の通りである:(刃の切断・フル切断:切断テープなどの固定材料に切断することによってワークを完全に切断することは、半導体製造における基本的な加工方法である。・ハーフカット:ワークの中間に切削して溝を生成し、DBGプロセスでよく使用され、研磨によって同時に薄肉化とチップ分離を行う。
・二重切断:二重切断鋸を使用して2本の線を同時にフルまたはハーフカットし、生産性を向上させる。・ステップカット:2つの主軸を有するダブルスクライブマシンを用いて2段階に分けてフルカットとハーフカットを行い、配線層の処理によく用いられる。・ベベルカット:ステップカットの過程で、半カット側にV字刃を持つ刃を用いて2段階に分けてウエハをカットし、高い金型強度と高品質加工を実現する。・チョッパー切断:刃がワークの真上から降りて、垂直にワークに切り込み、部分的な溝切りによく使われる。・チョッパ横移動:チョッパ切断中にワークを水平移動させることでワークを切断し、部分切削に適している。・円形切断:カッターで切断した後、回転加工テーブルを通じてワークを円形に切断する。傾斜カット(傾斜角度主軸):加工台に傾斜した主軸を取り付けることによって一定角度のカットを実現し、角カットを必要とする技術に用いる。レーザー切断・レーザー技術を用いてウエハを結晶粒に分離することは、高濃度の光子流をウエハ上に送り、切断チャネル領域を除去するために局所的な高温を発生させることに関する。・レーザー切断のコストは比較的高いが、高精度で高効率な加工を実現することができる。微細切削加工・高解像度の実体微小工具を用いて、精密及び超精密な切削工作機械において、機械力の作用によりワーク残量を除去する。・加工材料が広く、加工形状が複雑で、加工精度が高く、加工形状は主に工具と工作機械によって保証されている。外円切断・早い切断方法を用いて、ブレードの高速回転によりシリコンインゴットと接触し、切断を形成する。・外円インサートのニップ方式とインサート剛性に制限されているため、切断精度と平面度が低下し、次第に他の方式に取って代わられている。以上の切削方法はそれぞれ特徴があり、異なる半導体部品の加工需要に適している。実際の用途では、具体的な加工要件と条件に応じて適切な切削方法を選択する必要があります。


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