Behandling af mikrodele er en højpræcisions- og højeffektiv behandlingsmetode, som normalt kræver brug af højpræcisionsudstyr, såsom højhastighedsspindel, højforstørrelsestelecentrisk linsekamera osv. Denne behandlingsmetode bruges i vid udstrækning inden for medicinsk, luftfart, optik, biler, halvledere, universiteter og andre områder. Kerneudstyret til behandling af mikrodele inkluderer højhastighedsspindel, højforstørrelsestelecentrisk linsekamera og lineær motor. Nøjagtigheden af højhastighedsspindel har stor indflydelse på behandlingsresultaterne. Den maksimale hastighed kan nå 60.000 omdrejninger/min, og nøjagtigheden er 1 μm. Det højforstørrelsestelecentriske linsekamera har funktionen til at kalibrere værktøjscenteret og kameracenterfejlen. Samtidig kan det bruges til at detektere emnetstørrelsen online og bestemme margenen for mikro-nano-bearbejdning. Den lineære motor har egenskaberne ved høj præcision og høj respons, som kan realisere mikro-slibning Softwaren til mikro-del behandling er også meget vigtig. Det skal have CNC-funktion, som kan redigere instruktionerne i forskellige former for automatisk at fuldføre dele behandlingsbehov. Derudover skal softwaren også have brugerdefineret bevægelsesbane kontrolfunktion, redigere forskellige former, og automatisk fuldføre dele behandlingsbehov. Kort sagt, behandlingen af mikrodele kræver brug af højpræcisionsudstyr og teknologi for at opnå højpræcision og højeffektive bearbejdningsresultater.