Полицирањето на површината на процесот на делови од полуведувачи е клучен чекор кој директно влијае на квалитетот и извршноста на деловите. Кога ќе се спроведе полирање на површината, вниманието треба да се обрати на следните аспекти: 1. полирање на времето и контролата на длабочината: Претерано полирање може да ја оштети извршноста на делот, така што е неопходно строго да се контролира времето и длабочината на полирање за да се осигури дека степенот на полирање е модерен, постигнувајќи го барањето за Селекцијата и квалитетот на разрешението за полирање: Селекцијата и квалитетот на разрешението за полирање директно влијаат на ефектот на полирање. Неопходно е да се избере полирачко решение кое е соодветно за карактеристиките на половиводителните материјали, и строго да се контролира формулата и чистоста на полирачкото решение за да се избегне нечистотијата од контаминирање или оштетување на површината на деловите. 3. контрола на температурата и притисокот: Неопходно е да се одржи константна температура и притисок за време на процесот на полирање за да се осигури стабилноста на квалитетот на полирање. Премногу или недоволна температура може да влијае на ефектот на полирање, додека нееднаков притисок може да предизвика гребаници или нееднаквост на површината на деловите. 4. Електростатичка заштита: Помикондукторните материјали се чувствителни на статичка електрична енергија, така што е неопходно да се заштитат деловите од статичка електрична енергија за време на процесот на полирање за да се спречи штетата предизвикана од Ова вклучува употреба на антистатичка опрема и алатки, како и одржување на соодветната влажност и температура во работната средина. 5. чистење и инспекција: По полирањето, деловите мора да бидат темелно чисти и инспекционирани за да се осигури дека нема остаток на полирање и контаминанти на површината на деловите. За време на чистењето треба да се користат соодветни средства за чистење и методи за избегнување на секундарната контаминација на деловите. Истовремено, е потребно внимателно да се провери површината на деловите користејќи алатки како што се микроскопите за да се осигури дека нема дефекти како што се гребаници или дупки.