Pembersihan permukaan proses bahagian semikonduktor adalah langkah penting yang secara langsung mempengaruhi kualiti dan prestasi bahagian. Apabila melaksanakan pencucian permukaan, perhatian patut diberikan kepada aspek berikut: 1. Pemcucian masa dan kawalan kedalaman: Pencucian berlebihan boleh merusak prestasi bahagian, jadi diperlukan mengawal secara ketat masa dan kedalaman pencucian untuk memastikan darjah pencucian moderate, mencapai keperluan permukaan licin tanpa merusak struktur dalaman bahagian. Pemilihan dan kualiti penyelesaian pencerahan: Pemilihan dan kualiti penyelesaian pencerahan secara langsung mempengaruhi kesan pencerahan. Ia diperlukan untuk memilih penyelesaian pencucian yang sesuai untuk ciri-ciri bahan semikonduktor, dan mengawal secara ketat formula dan kesucian penyelesaian pencucian untuk mengelakkan kemiskinan daripada mencemar atau merusak permukaan bahagian. 3. Kawalan suhu dan tekanan: perlu menyimpan suhu dan tekanan konstan semasa proses pencerahan untuk memastikan kestabilan kualiti pencerahan. Suhu yang berlebihan atau tidak cukup boleh mempengaruhi kesan pencerahan, sementara tekanan yang tidak sama boleh menyebabkan goresan atau ketidaksamaan di permukaan bahagian. 4. Perlindungan elektrostatik: Bahan semikonduktor sensitif kepada elektrik statik, jadi perlu melindungi bahagian-bahagian dari elektrik statik semasa proses pencerahan untuk mencegah kerosakan disebabkan oleh elektrik statik. Ini termasuk menggunakan peralatan dan alat anti-statik, serta menyimpan kelembapan dan suhu yang sesuai dalam persekitaran kerja. 5. Pembersihan dan Pemeriksaan: Selepas pencucian, bahagian-bahagian perlu dibersihkan dan diperiksa dengan teliti untuk memastikan tiada penyelesaian pencucian sisa dan kontaminan di permukaan bahagian-bahagian. Agen pembersihan dan kaedah yang sesuai patut digunakan semasa pembersihan untuk mengelakkan kontaminasi sekunder bahagian. Pada masa yang sama, perlu memeriksa dengan hati-hati permukaan bahagian menggunakan alat seperti mikroskop untuk memastikan tiada cacat seperti goresan atau lubang.