Micro-onderdelenverwerking is een zeer nauwkeurige en zeer efficiënte verwerkingsmethode, die meestal het gebruik van zeer nauwkeurige apparatuur vereist, zoals een hogesnelheidsspindel, een telecentrische lenscamera met hoge vergroting, enz. Deze verwerkingsmethode wordt veel gebruikt in medische, luchtvaart-, optische, auto ‘s, halfgeleiders, universiteiten en andere gebieden. De kernuitrusting van de verwerking van micro-onderdelen omvat een hogesnelheidsspindel, een telecentrische lenscamera met hoge vergroting en een lineaire motor. De nauwkeurigheid van de hogesnelheidsspindel heeft een grote invloed op de verwerkingsresultaten. De maximale snelheid kan 60.000 tpm bereiken en de nauwkeurigheid is 1 μm. De telecentrische lenscamera met hoge vergroting heeft de functie om het gereedschapscentrum en de cameracentrumfout te kalibreren. Tegelijkertijd kan het worden gebruikt om de grootte van het werkstuk online te detecteren en de marge voor micro-nano-bewerking te bepalen. De lineaire motor heeft de kenmerken van hoge precisie en hoge respons, die micro-slijpen kan realiseren. De software voor de verwerking van micro-onderdelen is ook erg belangrijk. Het moet een CNC-functie hebben, die de instructies van verschillende vormen kan bewerken om de behoeften van de deelverwerking automatisch te voltooien. Bovendien moet de software ook een aangepaste bewegingstrajectcontrolefunctie hebben, verschillende vormen bewerken en automatisch de behoeften van de deelverwerking voltooien. Kortom, de verwerking van micro-onderdelen vereist het gebruik van uiterst nauwkeurige apparatuur en technologie om zeer nauwkeurige en zeer efficiënte bewerkingsresultaten te bereiken.