Pemesinan bahagian mikro ialah kaedah pemprosesan berketepatan tinggi dan kecekapan tinggi, biasanya memerlukan penggunaan peralatan berketepatan tinggi, seperti gelendong berkelajuan tinggi, kamera kanta telesentrik pembesaran tinggi, dll. Kaedah pemprosesan ini digunakan secara meluas dalam perubatan, penerbangan, optik, automotif, semikonduktor, kolej dan bidang lain. Peralatan teras untuk pemesinan bahagian mikro termasuk gelendong berkelajuan tinggi, kamera kanta telesentrik pembesaran tinggi dan motor linear. Ketepatan gelendong berkelajuan tinggi mempunyai impak yang besar terhadap hasil pemesinan, dan kelajuan tertinggi boleh mencapai 60,000rpm, dengan ketepatan 1 μm. Kamera kanta telesentrik pembesaran tinggi mempunyai fungsi untuk menentukur pusat alat dan ralat pusat kamera, dan boleh digunakan untuk mengesan saiz bahan kerja dalam talian dan melakukan pemesinan nano selepas menentukan margin. Motor linear mempunyai ciri-ciri ketepatan tinggi dan tindak balas yang tinggi, dan boleh mencapai pengisaran mikro. Perisian untuk pemesinan bahagian mikro juga sangat penting. Ia perlu mempunyai fungsi CNC, boleh mengedit arahan dalam bentuk yang berbeza dan melengkapkan keperluan pemesinan bahagian secara automatik. Di samping itu, perisian juga harus mempunyai fungsi kawalan trajektori gerakan tersuai, mengedit bentuk yang berbeza dan melengkapkan keperluan pemesinan bahagian secara automatik. Pendek kata, pemesinan bahagian mikro memerlukan penggunaan peralatan dan teknologi berketepatan tinggi untuk mencapai kesan pemesinan berketepatan tinggi dan kecekapan tinggi.