Lustruirea suprafeței prelucrării pieselor semiconductoare este un pas crucial care afectează în mod direct calitatea și performanța pieselor. La efectuarea lustruirii suprafeței, trebuie acordată atenție următoarelor aspecte: 1. timpul de lustruire și controlul adâncimii: lustruirea excesivă poate deteriora performanța piesei, deci este necesar să se controleze strict timpul și adâncimea de lustruire pentru a se asigura că gradul de lustruire este moderat, atingând cerința de suprafață netedă fără a deteriora structura internă a piesei. Selectarea și calitatea soluției de lustruire: Selectarea și calitatea soluției de lustruire afectează direct efectul de lustruire. Este necesar să alegeți o soluție de lustruire potrivită pentru caracteristicile materialelor semiconductoare și să controlați strict formula și puritatea soluției de lustruire pentru a evita impuritățile de la contaminarea sau deteriorarea suprafeței pieselor. 3. Controlul temperaturii și presiunii: Este necesar să se mențină o temperatură și presiune constantă în timpul procesului de lustruire pentru a asigura stabilitatea calității lustruirii. Temperatura excesivă sau insuficientă poate afecta efectul de lustruire, în timp ce presiunea neuniformă poate provoca zgârieturi sau inegalități pe suprafața pieselor. 4. Protecție electrostatică: Materialele semiconductoare sunt sensibile la electricitatea statică, deci este necesar să protejați piesele de electricitatea statică în timpul procesului de lustruire pentru a preveni deteriorarea cauzată de electricitatea statică. Aceasta include utilizarea de echipamente și instrumente antistatice, precum și menținerea umidității și temperaturii adecvate în mediul de lucru. 5. Curățare și inspecție: După lustruire, piesele trebuie să fie curățate și inspectate temeinic pentru a se asigura că nu există soluții reziduale de lustruire și contaminanți pe suprafața pieselor. În timpul curățării trebuie utilizate agenți și metode de curățare adecvate pentru a evita contaminarea secundară a pieselor. În același timp, este necesar să se inspecteze cu atenție suprafața pieselor folosind instrumente, cum ar fi microscoapele, pentru a se asigura că nu există defecte, cum ar fi zgârieturi sau gropi.