Polenie povrchu spracovania polovodičových častí je rozhodujúcim krokom, ktorý priamo ovplyvňuje kvalitu a výkonnosť častí. When performing surface polishing, attention should be paid to the following aspects: 1. Polishing time and depth control: Excessive polishing may damage the performance of the part, so it is necessary to strictly control the polishing time and depth to ensure that the polishing degree is moderate, achieving the requirement of smooth surface without damaging the internal structure of the part. Výber a kvalita polieracieho roztoku: Výber a kvalita polieracieho roztoku priamo ovplyvňujú polierací účinok. Je nevyhnutné vybrať polierací roztok, ktorý je vhodný pre charakteristiky polovodičových materiálov, a prísne ovládať vzorec a čistotu polieracieho roztoku, aby sa zabránilo nečistotám kontamináciou alebo poškodeniu povrchu častí. 3. regulácia teploty a tlaku: je nevyhnutné udržiavať konštantnú teplotu a tlak počas polisovacieho procesu, aby sa zabezpečila stabilita kvality polisovania. Nadmerná alebo nedostatočná teplota môže ovplyvniť polisovací účinok, zatiaľ čo nerovnomerný tlak môže spôsobiť škrabania alebo nerovnomernosť na povrchu častí. (4) Elektrostatická ochrana: polovodičné materiály sú citlivé na statickú elektrickú energiu, takže je potrebné chrániť časti pred statickou elektrickou energiou počas polisovacieho procesu, aby sa predišlo škodám spôsobeným statickou elektrickou energiou. To zahŕňa používanie antistatických zariadení a nástrojov, ako aj zachovanie vhodnej vlhkosti a teploty v pracovnom prostredí. 5. čistenie a inšpekcia: Po polievaní musia byť časti dôkladne čistené a kontrolované, aby sa zabezpečilo, že na povrchu častí neexistuje žiadny reziduálny poliaci roztok a kontaminanty. Počas čistenia by sa mali používať vhodné čistiace látky a metódy, aby sa zabránilo sekundárnej kontaminácii častí. Zároveň je potrebné starostlivo kontrolovať povrch častí pomocou nástrojov, ako sú mikroskopy, aby sa zabezpečilo, že neexistujú žiadne chyby, ako sú škrabania alebo diery.