Površno poliranje delova polupravljanja je ključni korak koji direktno utječe na kvalitet i učinkovitost delova. Kada se radi o poliranju površine, pažnja treba obratiti na sljedeće aspekte: 1. Poljsko vrijeme i dubinu kontrole: prekomjerno poliranje može oštetiti funkciju dela, tako da je potrebno strogo kontrolirati vrijeme poliranja i dubinu kako bi se osiguralo da je poljska stupnja umjerena, ostvariti zahtev glatke površine bez štete unutrašnje strukture dela. Izaber i kvalitet poliranja rješenja: selekcija i kvalitet poliranja izravno utječe na poliranje efekta. Potrebno je izabrati poliranje rješenje koje je odgovarajuće za karakteristike polupravljača materijala i strogo kontrolirati formulu i čis to ću poliranja rješenja kako bi izbjegao nezadovoljstva od kontaminacije ili štetne površine delova. 3. Temperatura i kontrola pritiska: potrebno je održati konstantnu temperaturu i pritisak tokom procesa poliranja kako bi se osigurala stabilnost kvalitete poliranja. Prevelika ili nedovoljna temperatura može utjecati na uticaj poliranja, dok neobični pritisak može uzrokovati ogrebotine ili neobičnost na površini delova. 4. Elektrostatična zaštita: Semikonduktorske materijale su osjetljive na statičnu električnu struju, tako da je potrebno zaštititi dijelove od statične električne struje tokom procesa poliranja kako bi spriječili štetu uzrokovanu statičnom električnom strujom. To uključuje korištenje antistatičke opreme i alata, kao i održavanje odgovarajuće vlažnosti i temperature u radnom okruženju. 5. Očišćenje i inspekcija: Nakon poliranja delovi moraju biti temeljno čišćeni i provjereni kako bi se osiguralo da na površini delova nema ostalih otopina za poliranje i kontaminatora. Treba se koristiti odgovarajući čišćeni agenti i metode tokom čišćenja kako bi se izbjegao sekundarno kontaminacija dijelova. U is to vreme je potrebno pažljivo provjeriti površinu delova koristeći alate poput mikroskopa kako bi se osiguralo da ne postoje defekti poput ogrebotina ili punja.