Ytpolering av halvledardelar är ett avgörande steg som direkt påverkar kvaliteten och prestandan hos delarna. Vid utförande av ytpolering bör uppmärksamhet ägnas åt följande aspekter: 1. polertid och djupkontroll: Överdriven polering kan skada komponentens prestanda, så det är nödvändigt att strikt kontrollera polertid och djup för att säkerställa att poleringsgraden är måttlig, uppnå kravet på slät yta utan att skada komponentens inre struktur. Valet och kvaliteten på polerlösningen: Valet och kvaliteten på polerlösningen påverkar direkt poleringseffekten. Det är nödvändigt att välja en polerlösning som är lämplig för egenskaperna hos halvledarmaterial och strikt kontrollera formeln och renheten hos polerlösningen för att undvika föroreningar från att förorena eller skada ytan på delarna. 3. temperatur och tryckkontroll: Det är nödvändigt att upprätthålla en konstant temperatur och tryck under poleringsprocessen för att säkerställa stabiliteten i polerkvaliteten. För hög eller otillräcklig temperatur kan påverka poleringseffekten, medan ojämnt tryck kan orsaka repor eller ojämnheter på ytan av delarna. Elektrostatisk skydd: Halvledarmaterial är känsliga för statisk elektricitet, så det är nödvändigt att skydda delarna från statisk elektricitet under poleringsprocessen för att förhindra skador orsakade av statisk elektricitet. Detta inkluderar användning av antistatisk utrustning och verktyg samt bibehållande av lämplig luftfuktighet och temperatur i arbetsmiljön. Rengöring och inspektion: Efter polering måste delarna rengöras noggrant och inspekteras för att säkerställa att det inte finns någon kvarvarande polerlösning och föroreningar på ytan av delarna. Lämpliga rengöringsmedel och metoder bör användas under rengöring för att undvika sekundär kontaminering av delarna. Samtidigt är det nödvändigt att noggrant inspektera ytan på delarna med verktyg som mikroskop för att säkerställa att det inte finns några defekter som repor eller gropar.