Mikro parça işleme, genellikle yüksek hızlı iş mili, yüksek büyütmeli telesentrik mercek kamerası vb. Gibi yüksek hassasiyetli ekipmanların kullanılmasını gerektiren yüksek hassasiyetli ve yüksek verimli bir işleme yöntemidir. Bu işleme yöntemi tıp, havacılık, optik, otomobil, yarı iletkenler, üniversiteler ve diğer alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. Mikro parça işlemenin temel ekipmanı, yüksek hızlı iş mili, yüksek büyütmeli telesentrik mercek kamerası ve doğrusal motoru içerir. Yüksek hızlı iş milinin doğruluğu, işleme sonuçları üzerinde büyük bir etkiye sahiptir. Maksimum hız 60.000 rpm ‘ye ulaşabilir ve doğruluk 1 mikrondur. Yüksek büyütmeli telesentrik mercek kamerası, alet merkezi ve kamera merkezi hatasını kalibre etme işlevine sahiptir. Aynı zamanda, iş parçası boyutunu çevrimiçi olarak tespit etmek ve mikro nano işleme için marjı belirlemek için kullanılabilir. Doğrusal motor, mikro öğütmeyi gerçekleştirebilen yüksek hassasiyet ve yüksek tepki özelliklerine sahiptir. Mikro parça işleme yazılımı da çok önemlidir. Parça işleme ihtiyaçlarını otomatik olarak tamamlamak için farklı şekillerin talimatlarını düzenleyebilen CNC işlevine sahip olması gerekir. Ek olarak, yazılımın ayrıca özel hareket yörüngesi kontrol işlevine sahip olması, farklı şekilleri düzenlemesi ve parça işleme ihtiyaçlarını otomatik olarak tamamlaması gerekir. Kısacası, mikro parçaların işlenmesi, yüksek hassasiyetli ve yüksek verimli işleme sonuçları elde etmek için yüksek hassasiyetli ekipman ve teknolojinin kullanılmasını gerektirir.