Behandling av mikrodeler er en prosesseringsmetode med høy presisjon og høy effektivitet, som vanligvis krever bruk av høypresisjonsutstyr, for eksempel høyhastighets spindel, høyforstørrelse telesentrisk linsekamera, etc. Denne prosesseringsmetoden er mye brukt i medisinsk, luftfart, optikk, biler, halvledere, universiteter og andre felt. Kjerneutstyret til prosessering av mikrodeler inkluderer høyhastighets spindel, høyforstørrelse telesentrisk linsekamera og lineær motor. Nøyaktigheten av høyhastighets spindel har stor innvirkning på prosesseringsresultatene. Maksimumshastigheten kan nå 60.000rpm og nøyaktigheten er 1 μm. Høyforstørrelse telesentrisk linsekamera har funksjonen til å kalibrere verktøysenteret og kamerasenterfeilen. Samtidig kan den brukes til å oppdage størrelsen på arbeidsstykket på nettet og bestemme marginen for mikro-nano-bearbeiding. Den lineære motoren har egenskapene av høy presisjon og høy respons, som kan realisere mikro-sliping Programvaren for mikro-del prosessering er også veldig viktig. Det må ha CNC-funksjon, som kan redigere instruksjonene av forskjellige former for automatisk å fullføre delene prosesseringsbehov. I tillegg bør programvaren også ha tilpasset bevegelse bane kontroll funksjon, redigere forskjellige former, og automatisk fullføre delene prosesseringsbehov. Kort sagt, prosessering av mikro-deler krever bruk av høy presisjon utstyr og teknologi for å oppnå høy presisjon og høy effektivitet maskinering resultater.