Точність точної обробки в Шеньчжені була покращена більш ніж на один порядок порівняно з традиційною точною обробкою.
Точна обробка деталей Шеньчжень має особливі вимоги до матеріалів заготовки, обробного обладнання, інструментів, вимірювальних та екологічних умов і вимагає комплексного застосування прецизійних машин, точних вимірювань, прецизійних сервосистем, комп ‘ютерного управління та інших передових технологій. Точність надточної обробки більш ніж на порядок вище, ніж у традиційної точної обробки. На додаток до необхідності прийняття нових методів обробки або нових механізмів обробки, існують спеціальні вимоги до матеріалів заготовки, обробного обладнання, інструментів, вимірювальних та екологічних умов.
Чи знаєте ви, як обробляти прецизійні деталі в Шеньчжені? Давайте подивимось.
Коли точність обробки точної обробки в Шеньчжені становить нанометри або навіть атомні одиниці (відстань атомної решітки становить від 0,1 до 0,2 нанометра), метод різання більше не може бути адаптований, і необхідно використовувати спеціальні методи обробки, тобто застосування хімічної енергії, електрохімічної енергії, теплової енергії або електричної енергії тощо, щоб ці енергії перевищували енергію зв "язку між атомами, тим самим усуваючи адгезію, зв" язування або деформацію решітки деяких атомів на поверхні заготовки, щоб досягти мети надточної обробки.
Наприклад, виготовлення пластин VLSI полягає у використанні електронного пучка для оголення фоторезисту на масці (див. Фотолітографія), щоб атоми фоторезисту безпосередньо полімеризувались (або розкладалися) під впливом електронів, а потім полімеризовані або неполімеризовані частини розчиняються розробником для виготовлення маски. Для виготовлення пластини для експозиції електронного пучка потрібно використовувати надточне обробне обладнання з точністю позиціонування столу до 0,02 мкм.
Механічне хімічне полірування, іонне розпилення та іонна імплантація, вплив електронного променя, обробка лазерного променя, випаровування металу та епітаксія молекулярного променя належать до цього типу обробки. Ці методи характеризуються надзвичайно точним контролем кількості матеріалу, видаленого або доданого до поверхневого шару. Однак для досягнення надточної точності обробки все ще залежить від точного обробного обладнання та точних систем управління, а також використання надточних масок як посередників.
Ультраточна обробка в основному включає надточне точіння, дзеркальне шліфування та шліфування. У надточних токарних верстатах для мікроточіння використовуються монокристалічні алмазні інструменти, які були тонко подрібнені, з товщиною різання лише близько 1,5 мкм. Вони часто використовуються для обробки високоточних, дуже гладких деталей поверхні, таких як сферичні, асферичні та плоскі дзеркала з матеріалів кольорових металів.