Bearbetning av mikrodelar är en högprecisions- och högeffektiv bearbetningsmetod, som vanligtvis kräver användning av högprecisionsutrustning, såsom höghastighetsspindel, telekentrisk linskamera med hög förstoring etc. Denna bearbetningsmetod används i stor utsträckning inom medicin, flyg, optik, bilar, halvledare, universitet och andra områden. Kärnutrustningen för bearbetning av mikrodelar inkluderar höghastighetsspindel, telekentrisk linskamera med hög förstoring och linjär motor. Höghastighetsspindelns noggrannhet har stor inverkan på bearbetningsresultaten. Den maximala hastigheten kan nå 60 000 rpm och noggrannheten är 1 μm. Den högförstorade telekentriska linskameran har funktionen att kalibrera verktygscentrum och kameracenterfel. Samtidigt kan den användas för att upptäcka arbetsstyckets storlek online och bestämma marginalen för mikro-nano-bearbetning. Den linjära motorn har egenskaperna med hög precision och hög respons, vilket kan realisera mikro-slipning Programvaran för mikrodelbearbetning är också mycket viktig. Det måste ha CNC-funktion, som kan redigera instruktionerna i olika former för att automatiskt slutföra delbehandlingsbehovet. Dessutom bör programvaran också ha anpassad funktion för rörelsebana, redigera olika former och automatiskt slutföra delbehandlingsbehovet. Kort sagt kräver bearbetning av mikrodelar användning av högprecisionsutrustning och teknik för att uppnå högprecisions- och högeffektiva bearbetningsresultat.